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经营范围
发明名称
WAFER TRANSFERRING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS57166046(U)
申请公布日期
1982.10.19
申请号
JP19810054738U
申请日期
1981.04.15
申请人
发明人
分类号
G05D23/19;F24C7/08;F24J3/00;G05D23/00;H05B3/00;(IPC1-7):F24J3/00
主分类号
G05D23/19
代理机构
代理人
主权项
地址
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