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发明名称
METHOD OF ETCHING CERMET FILM
摘要
申请公布号
JPS57167603(A)
申请公布日期
1982.10.15
申请号
JP19810053471
申请日期
1981.04.07
申请人
MITSUBISHI DENKI KK
发明人
HAYAMA MASAHIRO
分类号
H01C17/06;C23F1/02;C23F4/00;H01C17/24
主分类号
H01C17/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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