发明名称 METHOD OF ETCHING CERMET FILM
摘要
申请公布号 JPS57167603(A) 申请公布日期 1982.10.15
申请号 JP19810053471 申请日期 1981.04.07
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 HAYAMA MASAHIRO
分类号 H01C17/06;C23F1/02;C23F4/00;H01C17/24 主分类号 H01C17/06
代理机构 代理人
主权项
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