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Bei einem Verfahren zur Dickenkontrolle bzw. -messung von Schichten, bei dem man ein anhaltendes, frequenzmoduliertes Ultraschallsignal einschallt, das periodisch ein Frequenzband überstreicht und das resultierende Signal auswertet, wird das Frequenzband so breit gewählt, daß ein Mehrfaches des Interferenzabstandes umfaßt wird. Die im Frequenzspektrum des Empfangssignals periodisch auftretenden spektralen Maxima oder Minima werden ausgewertet. Bei festgelegter Modulationsrate des Sendesignals ergibt sich eine eindeutige Zuordnung zwischen der Wiederholfrequenz der Maxima oder Minima im Spektrum und der Dicke zu prüfenden Schicht. Dabei nimmt die Wiederholfrequenz mit wachsender Schichtdicke zu. Nach einem alternativen Vorschlag wird ein der Schichtdicke entsprechendes Oberwellenverhältnis ausgewertet. Die Oberwellen entstehen dadurch, daß das Frequenzband schmal gewählt wird, so daß nur ein Teilbereich des Interferenzabstandes umfaßt wird. Die Wiederholfrequenz der Modulation wird in Abhängigkeit von dem gewünschten Meßbereich festgelegt.
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