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经营范围
发明名称
GETTERING OF SEMICONDUCTOR COMPONENTS AND INTEGRATED SEMICONDUCTOR CIRCUITS
摘要
申请公布号
GB2029095(B)
申请公布日期
1982.10.13
申请号
GB19790023575
申请日期
1979.07.05
申请人
SIEMENS AG
发明人
分类号
H01L21/268;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/26
主分类号
H01L21/268
代理机构
代理人
主权项
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