Method of displaying the logic status of several neighbouring modes in integrated circuits in a logic picture by using a pulsed-electron probe.

摘要

Um logische Zustandsänderungen mehrerer benachbarter Schaltungsknoten in integrierten Schaltungen in einem Logikbild mittels einer gepulsten Elektronensonde auch an kurzen Leitbahnstücken darstellen zu können, tastet die gepulste Elektronensonde auf der integrierten Schaltung stets dieselbe Strecke in x-Richtung ab, wobei die Phase der Elektronenpulse bei jedem neuen so beschaffenen Abtastvorgang kontinuierlich verschoben wird. Dabei kann bis zur Aufnahmelinie die Probe abgebildet werden und erst bei dieser Aufnahmelinie die y-Ablenkung der gepulsten Elektronensonde festgehalten werden.