| 摘要 |
본 발명은 실린더형 커패시터와 같은 복수의 필라형 구조물들을 포함하는 반도체 소자에 관한 것이다. 반도체 소자는 복수의 실린더형 하부 전극들, 및 지지대를 포함한다. 복수의 실린더형 하부 전극들은 제 1 방향 및 제 2 방향을 따라 반복적으로 정렬된다. 지지대는 제 1 개방 영역이 형성되어 있는 제 1 패턴, 및 제 2 개방 영역이 형성되어 있는 제 2 패턴을 포함하며, 상기 복수의 실린더형 하부 전극들의 측면에 접촉하며 상기 복수의 실린더형 하부 전극들을 지지한다. 상기 제 1 패턴 및 상기 제 2 패턴은 서로 다른 형상을 가지고 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향 중 적어도 한 방향에서 교대로 배치된다. |
