APPARATUS FOR CALSSIFYING SUBSTRATE

摘要

본 발명의 실시예에 따른 기판분류장치는 기판의 기준점의 설계위치와 실제위치를 비교하여, 상기 설계위치와 상기 실제위치 사이의 차이를 나타내는 상기 기판의 개수를 산출하는 산출부; 상기 차이로 이루어진 오차 영역을 구획하여 복수의 오차 구획 영역을 설정하고, 상기 오차 구획 영역 각각에 따라 상기 기판을 기판 그룹으로 나누는 그룹핑부; 상기 기판 그룹 각각에 대한 위치 보정값을 설정하는 설정부를 포함한다.