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오버레이 측정치를 이용해 피치 워크 측정을 가능하게 하는 다중 패터닝된 계측 타겟 및 타겟 설계 방법이 제공된다. 피쳐 또는 스페이서 쌍과 동시에 생성되며 이들 쌍과 공통 피치를 공유하는 단일의 피쳐 또는 스페이서를 구비한 다중 패터닝된 구조는 피치 워크를 구조들 간의 측정 가능한 오버레이로서 나타내는데 이용된다. 예를 들어, 각각의 피쳐 또는 스페이서 쌍과 동시에 생성되며 이들 쌍과 공통 피치를 공유하는 단일의 좌측 피쳐 또는 스페이서를 구비한 제1 다중 패터닝된 구조와, 상기 각각의 피쳐 또는 스페이서 쌍과 동시에 생성되며 이들 쌍과 공통 피치를 공유하는 단일의 우측 피쳐 또는 스페이서를 구비한 제2 다중 패터닝된 구조를 포함하는 타겟이 제공된다. |
