发明名称 CONTAINER FOR GROWING CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS57161000(A) 申请公布日期 1982.10.04
申请号 JP19810042318 申请日期 1981.03.25
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 ITOU KAZUHIRO;NAKAMURA HITOSHI;ONO YUUICHI;KAWADA MASAHIKO;MORI MITSUHIRO;MORIOKA MAKOTO;OOUCHI HIROBUMI;KURATA KAZUHIRO
分类号 C30B15/10;C30B35/00;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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