发明名称
摘要
申请公布号 JPS57157135(U) 申请公布日期 1982.10.02
申请号 JP19810042443U 申请日期 1981.03.26
申请人 发明人
分类号 H01J37/30;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
地址