| 发明名称 |
PIEZOELEKTRISCHER KRISTALLINER ZINKOXYDFILM AUF EINEM SUBSTRAT. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH632357(A5) |
申请公布日期 |
1982.09.30 |
| 申请号 |
CH19780008054 |
申请日期 |
1978.07.26 |
| 申请人 |
MURATA MFG. CO., LTD. |
发明人 |
TOSHIO OGAWA;TASUKU MASHIO;HIROSHI NISHIYAMA |
| 分类号 |
C04B35/453;C01G9/02;C23C14/08;C30B28/12;C30B29/16;H01L41/18;H03H3/08;(IPC1-7):01L41/18 |
主分类号 |
C04B35/453 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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