| 发明名称 |
CAPACITIVE PRESSURE TRANSDUCERS AND METHODS OF FABRICATING THEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0049344(A3) |
申请公布日期 |
1982.09.29 |
| 申请号 |
EP19810106255 |
申请日期 |
1981.08.11 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
PETERSEN, KURT EDWARD |
| 分类号 |
G01L9/12;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00 |
主分类号 |
G01L9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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