| 发明名称 |
METHOD OF DRY PRODUCING MICROMINIATURE ELECTRONIC DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57157524(A) |
申请公布日期 |
1982.09.29 |
| 申请号 |
JP19820028018 |
申请日期 |
1982.02.23 |
| 申请人 |
XEROX CORP |
发明人 |
KOOJI OKUMURA;FURANKURIN DEI SEIBUA |
| 分类号 |
H01L21/302;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/36;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/3065;H05K3/06 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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