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发明名称 EVAPORATION OF AN EVAPORANT IN VACUUM
摘要
申请公布号 GB2095029(A) 申请公布日期 1982.09.22
申请号 GB19820007351 申请日期 1982.03.12
申请人 BALZERS AG 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/30;C23C14/32;H01J37/305;(IPC1-7):H01J29/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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