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Eine Vorrichtung für eine rasche interne Logikprüfung an integrierten Schaltungen, wobei die Vorgänge auf allen Datenleitungen eines Busses gleichzeitig dargestellt werden können, besteht aus einem gepulsten Elektronenstrahl (12) als Meßsonde, einem Scan-Generator für den Positionswechsel dieser Meßsonde, einem Bewerter für das Potential-Kontrastsignal, einem Rechner (2) oder Logikanalysator zur Auswertung der Meßwerte und einer Ablaufsteuerung. Bei jeweils fester Phasenlage des Ablaufzyklus der integrierten Schaltung wird der gepulste Elektronenstrahl hintereinander auf verschiedene Meßstellen gerichtet, von jeder Meßstelle wird das Potential-Kontrastsignal registriert und logisch bewertet, die bei verschiedenen Phasenlagen gewonnenen Meßergebnisse werden an den Rechner oder Logikanalysator weitergegeben, und schließlich werden diese Meßergebnisse im Rechner oder Logikanalysator ausgewertet.
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