发明名称 ELECTRON BEAM WORKING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2021025(B) 申请公布日期 1982.09.22
申请号 GB19790014631 申请日期 1979.04.26
申请人 MITSUBISHI JUKOGYO KK 发明人
分类号 H01J37/315;B23K15/04;B23K15/06;H01J37/301;(IPC1-7):B23K15/00;H01J37/16;H01J37/31 主分类号 H01J37/315
代理机构 代理人
主权项
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