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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM WORKING APPARATUS
摘要
申请公布号
GB2021025(B)
申请公布日期
1982.09.22
申请号
GB19790014631
申请日期
1979.04.26
申请人
MITSUBISHI JUKOGYO KK
发明人
分类号
H01J37/315;B23K15/04;B23K15/06;H01J37/301;(IPC1-7):B23K15/00;H01J37/16;H01J37/31
主分类号
H01J37/315
代理机构
代理人
主权项
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