| 发明名称 |
METHOD OF FORMING WIRING LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57152192(A) |
申请公布日期 |
1982.09.20 |
| 申请号 |
JP19810035266 |
申请日期 |
1981.03.13 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
HONMA YOSHIO;TSUNEKAWA SUKEYOSHI;MORIZAKI HIROSHI |
| 分类号 |
H05K3/16;H01L21/3205;H01L21/768;H05K3/14 |
主分类号 |
H05K3/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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