发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS57152470(A) 申请公布日期 1982.09.20
申请号 JP19810037711 申请日期 1981.03.16
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 YOSHINO TSUNEICHI
分类号 C23F1/08;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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