| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57149770(A) |
申请公布日期 |
1982.09.16 |
| 申请号 |
JP19810036096 |
申请日期 |
1981.03.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KK |
发明人 |
AKASAKA YOUICHI;TSUKAMOTO KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/763;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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