| 发明名称 |
PROCEDE D'ATTAQUE IONIQUE REACTIVE DE COUCHES CONTENANT DU TANTALE ET DU SILICIUM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
BE893251(A1) |
申请公布日期 |
1982.09.16 |
| 申请号 |
BE19820208144 |
申请日期 |
1982.05.19 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CY INC. |
发明人 |
DESLAURIERS J S;LEVINSTEIN H J |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
