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发明名称 ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 GB2020896(B) 申请公布日期 1982.09.15
申请号 GB19790016014 申请日期 1979.05.09
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01J37/24;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/24
代理机构 代理人
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