Process for the preparation of thin polyimide layers.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Polyimidschichten durch Aufbringen einer Lösung eines Polyimid-Präpolymeren auf ein Substrat sowie nachfolgende Temperung und stellt sich die Aufgabe, ein Verfahren dieser Art in der Weise auszugestalten, daß dabei die Herstellung von Schichten mit Schichtstärken <= 0,2 µm ermöglicht wird, die gleichzeitig einen homogenen Charakter aufweisen und eine gute Haftfähigkeit besitzen. Die Erfindung sieht dazu vor, filmbildende Präpolymere hochwärmebeständiger Polyimide zu verwenden, die beim Tempern einen hohen Anteil an flüchtigen Produkten abgeben. Nach dem erfindungsgemässen Verfahren können insbesondere Orientierungsschichten für Flüssigkristalldisplays hergestellt werden.