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发明名称 METHOD OF MEASURING IMPURITY CONCENTRATION PROFILE IN SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 SU958987(A1) 申请公布日期 1982.09.15
申请号 SU19802983315 申请日期 1980.09.22
申请人 SMIRNOV VYACHESLAV,SU;PANASYUK VITALIJ N,SU;OVCHARENKO EVGENIJ N,SU 发明人 SMIRNOV VYACHESLAV I,SU;PANASYUK VITALIJ N,SU;OVCHARENKO EVGENIJ N,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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