| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM ABTRAGENDEN BEARBEITEN VON WERKSTUECKEN UND VERFAHREN ZUM BETRIEB DERSELBEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH631914(A5) |
申请公布日期 |
1982.09.15 |
| 申请号 |
CH19780009093 |
申请日期 |
1978.08.29 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
DR. DIETER SEIFERT;DR. DIETER REGLER;VOLKER OFENMACHER;ALFRED MORITZ;AUGUST FREUDLSPERGER;WALTER BERGER |
| 分类号 |
B24B27/06;B24B1/04;B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/04;B23D57/00;B24B37/00 |
主分类号 |
B24B27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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