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经营范围
发明名称
Photochemical vapour deposition of oxides
摘要
申请公布号
GB2094280(A)
申请公布日期
1982.09.15
申请号
GB19810007081
申请日期
1981.03.06
申请人
HUGHES AIRCRAFT CO
发明人
分类号
C01G1/02;C01B13/14;C01B13/20;C01B33/12;C01B35/12;C01F7/02;C23C16/40;C23C16/48;C30B25/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/473;(IPC1-7):C01B13/20
主分类号
C01G1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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