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发明名称 HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE3206060(A1) 申请公布日期 1982.09.09
申请号 DE19823206060 申请日期 1982.02.19
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 SHIMIZU,ISAO
分类号 H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/10;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/72;H01L27/04 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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