| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON EXTREMEN FEINSTRUKTUREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3103615(A1) |
申请公布日期 |
1982.09.09 |
| 申请号 |
DE19813103615 |
申请日期 |
1981.02.03 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
KRAUS,FRIEDRICH,DR.RER.NAT. |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/30;H01L29/76;H01L21/88;H01L27/26;H01L47/02 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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