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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EICHEN DER ABLENKUNG EINES AUS GELADENEN TEILCHEN BESTEHENDEN STRAHLS
摘要
申请公布号 DE3206374(A1) 申请公布日期 1982.09.09
申请号 DE19823206374 申请日期 1982.02.22
申请人 HITACHI,LTD.;NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE PUBLIC CORP. 发明人 SHIMAZU,NOBUO;OKUBO,TSUNEO;SAITOU,NORIO;OZASA,SUSUMU
分类号 H01J37/147;H01J37/153;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/21;H05H7/00 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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