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发明名称 PLASMAARBEITSKAMMER MIT VERSTELLBAREN ELEKTRODEN
摘要
申请公布号 DE3204311(A1) 申请公布日期 1982.09.09
申请号 DE19823204311 申请日期 1982.02.09
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 R. KOCH,GEORGE
分类号 B01J19/08;H01J37/16;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/30 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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