发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER AMORPHEN SILIZIUMSOLARZELLE
摘要
申请公布号 DE3140139(A1) 申请公布日期 1982.09.09
申请号 DE19813140139 申请日期 1981.10.09
申请人 RCA CORP. 发明人 EMIL CARLSON,DAVID
分类号 H01L31/04;C23C16/24;H01L27/146;H01L31/20;(IPC1-7):01L31/18 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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