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发明名称 BORDERLESS DIFFUSION CONTACT STRUCTURE AND METHOD OF MAKING SUCH STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0046857(A3) 申请公布日期 1982.09.08
申请号 EP19810105495 申请日期 1981.07.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DOCKERTY, ROBERT CHARLES;GARBARINO, PAUL LOUIS
分类号 H01L27/10;H01L21/28;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90;H01L23/52;G11C11/40;H01L29/52 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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