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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5740518(Y2)
申请公布日期
1982.09.06
申请号
JP19780119562U
申请日期
1978.08.31
申请人
发明人
分类号
C30B23/08;C30B23/02;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/203
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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