发明名称
摘要
申请公布号 JPS5741697(B2) 申请公布日期 1982.09.04
申请号 JP19750029719 申请日期 1975.03.12
申请人 发明人
分类号 H01J47/00;G01N27/64;G01T1/167;G01T1/185 主分类号 H01J47/00
代理机构 代理人
主权项
地址