发明名称
摘要
申请公布号 JPS5741826(B1) 申请公布日期 1982.09.04
申请号 JP19800014531 申请日期 1980.02.08
申请人 发明人
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/283;H01L29/40;(IPC1-7):H01L29/40 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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