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发明名称
METHOD OF FORMING INSULATING FILM
摘要
申请公布号
JPS57141806(A)
申请公布日期
1982.09.02
申请号
JP19810025397
申请日期
1981.02.25
申请人
RICOH KK
发明人
TAKAHASHI TOYOHIKO
分类号
C23C14/32;C23C14/06;H01B5/14;H01B13/00
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
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