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发明名称 WAFER TREATING CONTAINER
摘要
申请公布号 JPS57141929(A) 申请公布日期 1982.09.02
申请号 JP19810208237 申请日期 1981.12.24
申请人 FURUOROUEA INC 发明人 GAI ERU MIRIREN
分类号 H01L21/306;H01L21/673 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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