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发明名称 SUBSTRATE CLAMP FOR USE IN SEMICONDUCTOR FABRICATION
摘要
申请公布号 IL56224(A) 申请公布日期 1982.08.31
申请号 IL19780056224 申请日期 1978.12.15
申请人 VEECO INSTRUMENTS INC 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/72 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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