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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS57139965(A)
申请公布日期
1982.08.30
申请号
JP19810025666
申请日期
1981.02.24
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
SHINADA KAZUYOSHI
分类号
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/732
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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