发明名称
摘要
申请公布号 JPS57501552(A) 申请公布日期 1982.08.26
申请号 JP19800502297 申请日期 1980.08.27
申请人 发明人
分类号 H01J21/20;H01J21/14;H01J21/26 主分类号 H01J21/20
代理机构 代理人
主权项
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