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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS57137469(A)
申请公布日期
1982.08.25
申请号
JP19810021550
申请日期
1981.02.18
申请人
HITACHI SEISAKUSHO KK
发明人
HONMA YOSHIO;TSUNEKAWA SUKEYOSHI;MORIZAKI HIROSHI;HARADA YUKIYOSHI
分类号
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;H01J37/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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