| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TREATING ARTICLE WITH FINE FOCUSED ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57136335(A) |
申请公布日期 |
1982.08.23 |
| 申请号 |
JP19820003233 |
申请日期 |
1982.01.12 |
| 申请人 |
ENAJII SAIENSEZU INC |
发明人 |
EI SUCHIYUAATO DENAMU;UIRIAMU EE FURUUTEIGAA;KENESU II UIRIAMUZU |
| 分类号 |
H01L21/20;G21K5/02;H01J37/063;H01J37/30;H01L21/263 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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