| 发明名称 |
METHOD OF ADJUSTING OXYGEN CONCENTRATION AND DISTRIBUTION IN SILICON GROWING BY CZOCHRALSKI METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57135796(A) |
申请公布日期 |
1982.08.21 |
| 申请号 |
JP19810216184 |
申请日期 |
1981.12.28 |
| 申请人 |
MONSANTO CO |
发明人 |
ROJIYAA AREN FUREDERITSUKU;JIERII UOFUOODO MUUDEI |
| 分类号 |
C30B15/20;C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06;C30B31/16 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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