发明名称 MANUFACTURING OF HIGH PURITY SILICON GRANULE
摘要
申请公布号 JPS57135708(A) 申请公布日期 1982.08.21
申请号 JP19810019191 申请日期 1981.02.12
申请人 SHINETSU KAGAKU KOGYO KK 发明人 HASEGAWA JINICHIROU;KANEKO KIYOSHI;ENOMOTO YOSHIHIRO
分类号 C01B33/02;C01B33/027;C30B25/00;C30B29/06;H01L31/04 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
地址