发明名称 |
MANUFACTURING OF HIGH PURITY SILICON GRANULE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS57135708(A) |
申请公布日期 |
1982.08.21 |
申请号 |
JP19810019191 |
申请日期 |
1981.02.12 |
申请人 |
SHINETSU KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
HASEGAWA JINICHIROU;KANEKO KIYOSHI;ENOMOTO YOSHIHIRO |
分类号 |
C01B33/02;C01B33/027;C30B25/00;C30B29/06;H01L31/04 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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