| 发明名称 |
COMPOSITION POLYMERIQUE AYANT DES GROUPES ALCENE ET CARBOXYLE TERMINAUX, PROCEDE POUR SA PREPARATION ET PRODUCTION D'UN PHOTORESIST |
| 摘要 |
L'INVENTION CONCERNE UNE COMPOSITION D'UN POLYMERE.SELON L'INVENTION, ELLE A UNE INSATURATION ALCENE A UNE EXTREMITE, UN GROUPE CARBOXYLE TERMINAL A L'AUTRE, UN POIDS MOLECULAIRE DE L'ORDRE DE 250 A 10000 ET UNE TENEUR ACIDE DE L'ORDRE DE 0,1 A 4,0 MEQG.L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT A LA FORMATION DE COMPOSITIONS POLYMERIQUES LIQUIDES A UTILISER COMME "PHOTORESISTS".
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| 申请公布号 |
FR2499998(A1) |
申请公布日期 |
1982.08.20 |
| 申请号 |
FR19820000632 |
申请日期 |
1982.01.15 |
| 申请人 |
GRACE AND CO |
发明人 |
JUNG-HSIEN TSAO ET PAUL RICHARD HEIN;HEIN PAUL RICHARD |
| 分类号 |
C08F299/06;C08F2/00;C08F2/48;C08F20/00;C08F20/22;C08F20/42;C08F290/00;C08F299/00;C08F299/02;C08G18/00;C08G18/08;C08G18/67;C08G18/81;C08G18/83;C08G59/00;C08G63/88;C08G65/32;C08G65/48;C08L63/00;C09D11/00;C09D11/10;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/032;G03F7/035;G03F7/038;H01L21/027;H05K3/06;(IPC1-7):C08G18/65;G03C1/70 |
主分类号 |
C08F299/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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