METAL/METAL OXIDE COATINGS

摘要

La plupart des procedes pour la production de films d'oxydes metalliques ou de sulfures metalliques ont consiste a effectuer l'oxydation des couches metalliques existantes ou un depot direct de vapeur de la couche d'oxyde ou de sulfure. Ces procedes ne permettent pas d'assurer un controle efficace de l'integrite, des proprietes optiques et de la liaison du film. L'utilisation d'un procede d'un depot de vapeur metallique dans lequel une quantite controlee d'un gaz ou d'une vapeur contenant de l'oxygene ou du soufre et introduite dans le courant de vapeur metallique permet la formation de films d'oxydes metalliques ou de sulfures metalliques avec un controle excellent des proprietes du film.