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发明名称 OPTISCHES LITHOGRAPHIEVERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM KOPIEREN EINES MUSTERS AUF EINE HALBLEITERSCHEIBE.
摘要
申请公布号 AT1462(T) 申请公布日期 1982.08.15
申请号 AT19790102675T 申请日期 1979.07.27
申请人 TABARELLI, WERNER W., DR. 发明人 TABARELLI, WERNER W., DR.;LOEBACH, ERNST, DR.
分类号 G03F7/20;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/47 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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