| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57128053(A) |
申请公布日期 |
1982.08.09 |
| 申请号 |
JP19810012972 |
申请日期 |
1981.02.02 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI IRUMA DENSHI KK |
发明人 |
IGA KAZUYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/822;G05F1/56;H01L23/58;H01L27/00;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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