发明名称 SURFACE TREATMENT OF ALLOY SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PLATE
摘要
申请公布号 JPS57127000(A) 申请公布日期 1982.08.06
申请号 JP19810013595 申请日期 1981.01.30
申请人 FUJITSU KK 发明人 MIYAMOTO YOSHIHIRO;KANMOTO YOSHIHIRO;MAEKAWA TOORU
分类号 C25D7/12;C25F3/12;H01L21/302;H01L21/3063 主分类号 C25D7/12
代理机构 代理人
主权项
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