发明名称 |
SURFACE TREATMENT OF ALLOY SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PLATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS57127000(A) |
申请公布日期 |
1982.08.06 |
申请号 |
JP19810013595 |
申请日期 |
1981.01.30 |
申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
MIYAMOTO YOSHIHIRO;KANMOTO YOSHIHIRO;MAEKAWA TOORU |
分类号 |
C25D7/12;C25F3/12;H01L21/302;H01L21/3063 |
主分类号 |
C25D7/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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