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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN ALLOY FILM
摘要
申请公布号 JPS57123972(A) 申请公布日期 1982.08.02
申请号 JP19810202338 申请日期 1981.12.14
申请人 ROCKWELL INTERN CORP 发明人 ADEISON BURUKU JIYOONZU
分类号 C23C14/14;C23C14/24;C23C14/26;C23C14/54 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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