| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM EL DEVICE TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63155594(A) |
申请公布日期 |
1988.06.28 |
| 申请号 |
JP19860301298 |
申请日期 |
1986.12.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
MEGUMI KOICHI;TANIMIZU SHINKICHI;YOSHIDA TAKESHI |
| 分类号 |
H05B33/10;C04B35/547;C23C14/06;H01L21/363;H05B33/12;H05B33/14 |
主分类号 |
H05B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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